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安川洁净机器人SEMISTAR-VD95D

双腕玻璃基板搬运机器人
负载: 95KG
产品详细描述
安川洁净机器人SEMISTAR-VD95D适用于真空环境内最大搬运尺寸达730*920mm双腕玻璃基板搬运机器人
安川洁净机器人SEMISTAR-VD95D
双腕玻璃基板搬运机器人
负载:95KG
动作范围:2300mm
控制柜:DX100
用途:洁净室、搬运

·大动作范围:最大搬运尺寸达730*920mm双腕玻璃基板搬运机器人。
·手臂采用连杆机构实现高钢性。
·采用真空内传送带驱动实现低放出气体性能。
·手臂可内置基板传感器用配线。
技术参数与规格

项目

规格

备注

名称

SEMISTAR-VD95D

 

机型

XU-RVD1450D6-A10(配传感电缆)

 

构造

水平多关节形(4个自由度)

 

动作范围

L,R轴(伸缩)

2300mm

 

 

S轴(旋转)

-170°~+170°

 

 

U轴(升降)

150mm

 

动作时间*1
(最高速度运作时)

L,R轴(伸缩)

3.2秒以下

2300mm伸缩距离

S轴(回转)

3.8秒以下

340deg旋转距离(但L,R=0)

U轴(升降)

2.5秒以下

150mm升降距离

重复定位精度*2

各轴±0.3mm

抓手安装部分中心位置时

手臂抖动精度

±0.3mm以下

水平方向,抓手安装部分中心位置时

负载

95KG/手臂

含抓手重量

容许惯性力矩(CD2/4)

最大118kg·m2

含抓手重量,抓手安装部分中心位置时

耐真空度

1*10-6Pa

 

本体质量

1500kg

 

适用控制柜式样

ERDR-VD0095D-A00

三相AC200V,3.0kVA


*1:动作节拍不保证带有基板时搬运速度。由于抓手的形状及抓手的安装部分的钢性产生共振时,会影响动作节拍,请重新设定。
*2:依据JIS B8432标准的动作重复定位精度。但有无工件时负载变动以及使用速度的差异、温度变化的影响不考虑在内。