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安川洁净机器人MFS2200D

大型液晶玻璃基板机器人
负载: 50KG
产品详细描述
安川洁净机器人MFS2200D实现洁净室内多层第6代超大型液晶玻璃基板箱体内的高速搬运!

安川洁净机器人MFS2200D

大型液晶玻璃基板搬运机器人
负载:50KG
动作范围:1780mm
控制柜:DX100
用途:洁净室、搬运

·适用于第6代(1500*1850mm)超大型液晶玻璃基板的高速搬运。
·高速、稳定搬运,提高生产效率。
·高度柔性动作,大幅度削减配套设备费用。
·长期保持高洁净度,降低运营成本。
·大幅缩短生产线建立时间。
技术参数与规格

项目

规格

名称

MOTOMAN-MFS2200D-3600

机型

YR-MFS050D-A00

构造

水平多关节形(6个自由度)

负载

50kg/手臂

重复定位精度*1

±0.2mm

动作范围

U轴(上下轴)

3600mm

S轴(回转轴)

-180.5°~+180.5°

L,R轴(前后轴)

-1780mm~+1780mm

左右运作

-50mm~+50mm

扭动运作

-6°~+6°(上下轴100~1750mm范围)
-0.5°~+0.5°(以上范围以外)

最大速度

U轴(上下轴)

950mm/s

S轴(回转轴)

1.57rad/s90°/s

L,R轴(前后轴)

最大3600mm/s

容许力矩

L,R轴(前后轴)

353N·m

容许惯性力矩(CD2/4)

L,R轴(前后轴)

71kg·m2

标准喷涂色

孟塞尔munsell N9.5

本体质量

2430kg

洁净度*2

ISO4

安置环境

温度

15~25°C

湿度

20~80%RH(不结露)

振动

4.9m/s2以下

其他

·环境没有引火性及腐蚀性气体,液体
·远离水
·远离电子噪音源
·安装机器人水平面水平度在0.5mm以下

电源容量*3

12.0kVA


*1:依据JIS B8432标准
*2:洁净度依据ISO-14644标准。在0.4m/s以上的向下流风速环境下,来确保工件搬运面以上洁净度。
*3:根据用途、作业形式会有所不同。